Aerobar 5635
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Der AeroBar 5635 MP Ionisationsstab von Simco-Ion wurde speziell zur Beseitigung elektrostatischer Aufladung bei der Halbleiterproduktion und anderer Reinraum Prozesse entwickelt, bei denen schnelle Entladezeit, niedrige Spannungsschwankungen und exakte Balance gefordert sind.
Das Modell 5635 nutzt MP-Technologie, die eine hochfrequente Sinuswelle mit modulierten Impulsen für eine für hohe Ionenausgabe kombiniert. Diese Technologie ermöglicht die Montage des AeroBar 5635 mit 150 mm Abstand vom Wafer. Die Kombination aus MP Technologie, extrem sauberen Silizium-Emitterspitzen und exakter Feinabstimmung erfüllt die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse.
Für Prozesse, bei denen keine extreme Sauberkeit erforderlich ist, beschleunigt die optionale Luftunterstützung den Ionenaustritt für, schnellere Entladezeiten und Ionisierungsleistung über größere Entfernungen. Die MP-Technologie ist einfach einzustellen und bietet die Möglichkeit zur Feinabstimmung von Spannung, Frequenz und Balance für unterschiedliche Umgebungen und Produktempfindlichkeitsanforderungen. Die Ionisierungsstäbe sind mit 50 mm und 75 mm Emitterabstand erhältlich. Der AeroBar 5635 MP ist die Lösung für viele verschiedene Anwendungen.
Sauberkeit
Der AeroBar 5635 MP erfüllt die ISO 14644-1 Norm. Langzeitmessungen über 5 Monate haben gezeigt, dass der AeroBar 5635 MP die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse erfüllt, was ihn zum saubersten Korona-Ionisierungsstab auf dem Markt macht.
Einfache Installation
Der AeroBar 5635 Ionisationsstab wird schnell durch einfaches Einstecken in eine 24 V DC-Spannungsquelle installiert. Wenn Luftunterstützung gewünscht ist muss er an eine Luftleitung anageschlossen werden. Um die Werkseinstellungen für eine Basisentladung aktivieren stellen sie die DIP-Schalter gemäß der Definition im Benutzerhandbuch ein. Die Benutzer können dann die Feinabstimmung der Steuerparameter am Stab vornehmen oder die benutzerfreundliche Software verwenden, um die optimale Balance, Spannungsschwankung und Entladezeiten einzustellen.
Ein Alarmausgang in der Anschlussbox ermöglicht den Anschluss an de Maschinensteuerung oder den Zentalrechner mit FNS Auswertung.
Optionaler Demand Flow Controller
Der optionale 5600 DFC ist eine leicht zu integrierende kostengünstige Lösung zur Steuerung der Luft- und Stromversorgung für den AeroBar. Er ermöglicht es dem Anwender den Ionisierer schnell ein- und auszuschalten für Anwendungen bei denen die Ionisierung nur sporadisch erforderlichist.
Merkmale
- Erweiterte ISO 1 Klasse (bei Verwendung der optimierten Voreinstellung ohne Luftunterstützung)
- Modulierte Impulstechnologie
- Niederfeldspannungen
- Luftunterstützung
- Optionale Software mit benutzerfreundlicher Oberfläche und vielen Einstellmöglichkeiten
- Alarm-Ausgangssignal
Vorteile
- Kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Knoten inklusive 22 nm und darunter
- Einheitliche Balance über den AeroBar
- Sichere Platzierung 150 mm von Wafer oder Maske
- Verbesserte statische Ladungsneutralisation bei hohen Geschwindigkeiten
- Schneller Emitter Austausch für kurze Stillstandzeiten
- Schnelle Inbetriebnahme und einfache Optimierung in jeder Umgebung
- Kommunikation zum Werkzeug oder Überwachungssystem
Optionen
- Flow Controller 91-5600-DFC
- Verteilerbox 33-21491
- Verteilerbox 24 V 33-25625
| Wirkabstand | 250 - 2000 mm |
| Betriebsspannung | 24 V DC / 9,5 -13,5 kV A, 1 - 33 Hz |
| Betriebsstrom | 0,7 mA |
| Kurzschlussstrom je Emitter | < 15 µA |
| Ionen - Balance | ± 20 V |
| Umgebungstemperatur | 15 - 35°C |
| Luftfeuchtigkeit | 30 - 60 % nicht kondensierend |
| Länge | 450 - 2350 mm |
| Zulassung | ISO 3, CE, UL |
| Netzteil | 33-5701-01 für 100 - 230 V AC, 50/60 Hz |
| Status | Hochspannung | LEDs |
|---|---|---|
| Betrieb | EIN | Grün |
| Alarm | AUS | Rot |
Download
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Aerobar_5635_Bedienungsanleitung_en | 2 MB |
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Aerobar_5635_Datenblatt_en | 485 KB |
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Aerobar_5635_Abmessungen_en | 558 KB |
