Aerobar 5225

Der softwaregesteuerte AeroBar 5225 wurde von SIMCO-ION für die anspruchsvollsten In-Tool-Ionisierungs-Anwendungen entwickelt.

Die hohe Ionenausgabe garantiert eine schnelle Neutralisierung der elektrischen Ladung auf den Wafern. Es können strengste Anforderungen der Hableiterhersteller erfüllt werden.

Das aerodynamisches Design des AeroBar 5225S und reinraumtaugliche Materialien erlauben eine vollständige und effiziente Ionisation in kleinen Bereichen und Reinräumen ohne Störung der laminaren Luftströmung.

Ein digitaler Sensor überwacht und steuert die Ionisierungsleistung auf dem Wafer (Closed-loop-feedback). Gleichzeitig werden die Kalibrierungs- und Wartungsintervalle verlängert.

Der AeroBar lässt sich leicht in Ihr Werkzeug integrieren. Die Software verwendet entweder vorkompilierte Routinen oder Open-Source-Code Beispiele. Nahtlose Integration mit den Werkzeugschnittstellen bedeutet eine kostengünstige Lösung zur Ionisation zusätzlich zu den Vorteilen der reduzierten Wartungskosten und eine bessere Alarmbehandlung. Systemwarnungen und Meldungen werden an der Werkzeugsteuerung angezeigt. Alternativ steht ein FMS Alarmausgang zur Verfügung.

Einfache Integration

Die speziell entwickelte Software von SIMCO-ION erleichtert die Integration in Ihre Systeme. Es stehen drei verschiedene Komponenten zur Verfügung um Ihre Anforderungen bestens zu erfüllen:

• Ein vollständig dokumentiertes Programmier-Handbuch (API) minimiert Integrationszeit und Kosten.
• Eine Open Source-Beispielanwendung in Visual C / C ++ liefert ein Beispiel für den Einsatz bei der Entwicklung Ihrer Werkzeugsteuerungssoftware, oder kann als Stand-alone-Anwendung auf Ihrer Werkzeugsteuerung oder Laptop verwendet werden.
• Ein Ionisierer-Hardware-Simulator ermöglicht eine einfache Software-Entwicklung, ohne dass die Hardware vorhanden sein muss.

 SIMCO-ION’s leistungsfähige Software bietet vollständige Kontrolle über das Ionisierungs-System. Die Einstellungen umfassen Betriebsarten (einschließlich gepulsten DC, Steady-State DC oder Standby), Synchronisation, Ein-Zeiten, Sperrzeiten, Stromausgangspegel und Alarmschwellen für positive und negative Emitter mit unabhängiger Kontrolle über jeden Aerobar. Ausgefeilte Alarm- und Wartungsermittlung bewirkt weniger Ausfallzeiten und Diagnoseaufwand.

Closed-loop-Fedback

Das SIMCI-ION Digital Sensor Modell 5200-SR verbessert die Überwachung der Ionisierungsleistung in geschlossenen Umgebungen und stellt den Ionenaustritt basierend auf den vom Sensor ermittelten Daten automatisch ein. Dieser Sensor ist das einzige Produkt seiner Art, um ein eine geschlossene Schleife im Ionisierungssystem zu erstellen. Die Wafer sind immer sicher vor statischer Ladung, weil die Ionisierungsleistung ständig überwacht wird und mit optimalen Einstellungen gesteuert wird.

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	Aerobar_5225_Bedienungsanleitung_en	3 MB
	Aerobar_5225_Datenblatt_en	449 KB